elaltps

...LTPS(LowTemperaturePoly-silicon)材料之ELA(ExcimerLaserAnnealing)結晶化關鍵製程，使用全域式影像橢偏量測方式，對LTPS結晶化特性進行量化分析。以協助改善 ...,2022年4月5日—低溫多晶矽(LTPS)作為AMOLED驅動基板，由於其薄膜電晶體元件直接嵌入在玻璃基板上，具有高亮度、超高解析度與輕薄省電等優點。準分子雷射退火(ELA)是 ...,ExcimerLaserAnnealing(ELA)isthekeyprocessparameterinLowTemperateSilicon(LTPS)layerm...

AMOLED LTPS缺陷檢測技術

... LTPS(Low Temperature Poly- silicon)材料之ELA(Excimer Laser Annealing)結晶化關鍵製程，使用全域式影像橢偏量測方式，對LTPS結晶化特性進行量化分析。以協助改善 ...

AMOLED LTPS薄膜缺陷檢測系統

2022年4月5日 — 低溫多晶矽(LTPS)作為AMOLED驅動基板，由於其薄膜電晶體元件直接嵌入在玻璃基板上，具有高亮度、超高解析度與輕薄省電等優點。準分子雷射退火(ELA)是 ...

ela process characterization (ltps)

Excimer Laser Annealing (ELA) is the key process parameter in Low Temperate Silicon (LTPS) layer manufacturing: ELA determines many important final ...

低溫多晶矽- 維基百科，自由的百科全書

低溫多晶矽（Low-temperature polycrystalline silicon，LTPS）是一種與傳統方法（900°C以上）相比，在相對較低的溫度（~650°C及更低）合成的多晶矽。LTPS對顯示行業很重要 ...

低溫複晶矽製造技術之動向

Low temperature polycrystalline silicon (LTPS) technology has been the most promising method to ... ‧8.4-inch LTPS Flexible AMLCD ... ELA + Nd:YVO4. 308 + 532 (2w) ...

准分子激光退火LTPS ELA process

2019年6月6日 — 本文综述了当前制作LTPS TFT－LCD最重要步骤低温多晶硅的各种制备方法，简要介绍了各方法的基本原理，特别是对已经产业化的准分子激光退火ELA和Ni诱导 ...

準分子雷射回火結晶製程於LTPS TFT技術上之運用

對於ELA製程所得之p-Si薄膜，我們. 可由TEM與SEM分析，來直接觀察p-Si結. 晶晶粒尺寸與分佈狀況。圖五為電子所. 利用XeCl準分子雷射回火系統（SHI. 5400/XMR 5300XPS雷射光 ...

準分子雷射在平面顯示器應用之研究

本研究中高品質低溫多晶矽薄膜電晶體之再結晶製程是使用傳統的準分子雷射退火技術(ELA)及循序式側向固化結晶(SLS)的方式所完成的。在最佳的製程條件下，我們無需外加光罩或 ...